高純氦氣純度要求如下：優等品≥99.9996%，一等品≥99.9993%，合格品≥99.999%。高純氦氣雜質控制指標，以高純氦氣優等品為例氖≤1ppm，氫≤0.1ppm，氧(氬)≤0.5ppm，水分≤1ppm。第三方檢測方面高純氦氣可定期送檢至權 威機構驗證成分。文章來源：高純氦氣http://m.yaojingjia.com